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高科技設備搬運及運送安全風險評估

為了解決無塵室等級1000的問題，作者黃繼弘 這樣論述：

近年來半導體科技產業蓬勃發展，各家業者為了強化本身製造優勢，無不朝向製程微縮或增加產量的方式來降低生產成本並維持獲利。設置一座12吋晶圓廠就至少包含了200~300多種設備機台，其中微影設備(Litho equipment)掃描式曝光機(Scanner)因每部平均單價約為新台幣10億元以上，又佔了建廠成本的大宗；因此確保該設備能妥善安裝就成了非常重要的課題。本研究是針對微影設備之搬運與運送安全進行探討，並依據近年來相關作業事故案例就微影設備之出貨、運輸以及顧客端安全卸貨等各項步驟，以失誤模式與效能分析手法(Failure mode and effective analysis, FMEA )

與工作安全分析(Job safety analysis , JSA)手法結合將各研究標的風險與可能性加以量化，並將評估屬於不可接受之風險(>50分)之作業列管。對於不可接受風險項目以消除、取代、工程控制、管理控制及個人防護具等優先順序改善，並考量現有技術能力及可用資源等因素，採取有效降低風險的控制措施以將風險降至可接受及防範之標準；最後再加入偵測度的評估因子，藉以確認採取控制措施後的殘餘風險(風險優先數)是否已降至列管值以下，以評估風險控制措施的有效性。 文中鑑別出氣墊貨櫃失火，屬微影設備搬運與運送作業中之不可接受風險；在經由火災動態模擬應用程式比對後，藉由模擬溫度場、速度場、火流方向、

煙流擴散等狀況所取的之數據，實驗中發現火災發生後的第70秒，這時的溫度已經會讓貨櫃內之精密設備產生變化，再加上煙霧沈降時間在41秒時就會影響到設備表面，如果要搶救設備就必需在41秒內將設備拉出來。由此氣墊貨櫃(System container)並據此進行風險控制措施的推動，除針對貨櫃中的設備進行本質防火安全改善外，並經氣墊作業之工作安全與設備防護標準化，另安排相關作業人員於作業前進行相關訓練與演練；藉由上述風險控制措施的實施，以增加安全防護層(protection layer)的方式來減少微影設備搬運與運送上風險(Tool move in safety risk assessment)；搬運公

司與研究設備商參照此研究建議進行改善後，將此次風險由等級2(不可接受風險)一直降到等級4(可以接受之風險)。自2011年6月後迄今，未再發生相關設備搬運與運送異常問題。

顯示器廠房潔淨室減少風扇濾網組覆蓋率之性能探討

為了解決無塵室等級1000的問題，作者楊明憲 這樣論述：

薄膜電晶體液晶顯示器產業(TFT-LCD)急速發展，製程技術日益迫切，一般於建廠設計中，因考量設備擴充或製程環境符合潔淨度規範，FFU空調系統均有過量設計(over design)現象，往往無法兼顧節約能源之設計；節省能源成本必為光電廠潔淨室設計與運轉成本考量之重要的一環。潔淨室皆設有外氣空調箱(Make-up Air Unit, MAU)並引入極為大量之外氣，維持環境正壓，相對的也因而造成能量消耗，再者亦需利用風扇濾網組(Fan Filter Unit, FFU)空調系統推動潔淨室氣流，使用高效率濾網(HEPA)環境空氣以維持潔淨度，避免大量微塵粒子污染製程環境進而影響生產品質。對於高科技

產業而言，少則數千台，多者上萬台，耗能亦極為可觀。本文將研究分析台南地區某光電廠部份製程區中FFU設置執行減量，於關閉部份FFU過程中觀察環境之微塵粒子、溫濕度之變化情形及關閉FFU空調系統過程中減少潔淨室顯熱，進而觀察冰水系統耗電量之節能分析。長期量測結果顯示FFU覆蓋率約60%設置約4,326片HEPA，FFU減量至覆蓋率約47%時約2,756片HEPA時；每年節省能源約163萬kWh，且潔淨室之環境潔淨等級不變。