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雙光子振鏡系統之研發

為了解決539表格列印的問題，作者葉哲宏 這樣論述：

本研究將設計一套能製造高精度微小結構之系統。使用振鏡作為移動加工光路之主要元件，搭配高功率780奈米飛秒雷射作為光源、磁性高精度移動平台以及龍門架構作為整個機台系統主體。近年來，由於奈米科技、微機構以及生醫科技的進步，對於細小結構的需求日益增大，若使用壓電移動平台製作成品可能無法達到所需要的速度以及產量，所以在此提出由振鏡以及高功率雷射所成的雙光子振鏡系統，以改進整體微影列印製程速度。系統建置方面。(1)電腦輔助路徑規劃程式：考慮到以往的路徑規劃，大多是用數值方法將數據以向量的方式做補點的路徑規劃，在此增加其他資料與路徑的轉換程式，將一些常用的檔案當作資料來源，用以擴增使用者對於資料的選用的

方便性與適用性。(2)振鏡程式介面系統建立：有別於過往移動載台的方式，使用振鏡將會考慮到角度轉換長度問題，此研究會專注於此以程式換算方式精進其還原度至設計時的模樣。(3)曝光路徑優化：由於使用與以往不同的系統，造成的線寬、劑量累積以及路徑重疊等需求重新計算，此研究會建立出符合雙光子振鏡系統的製程參數。